常劲林更是说了,等过几天吧,他要亲自去九洲工业公司看一看,顺便也感谢唐飞,为红星厂解决了这么大的一个难题。
………
经过一番前期准备之后,生产制造IGBT的时机已经成熟了,唐飞亲自选了一个好日子,开始了自己第一只大功率IGBT的生产制造。
IGBT的核心是芯片和大规模集成电路,这样核心的东西,当然是九洲工业有限公司自己生产制造。
芯片制造的第一步要用到光刻机和圆晶切片。
光刻机九洲工业有限公司有一台,还是世界先进的大型高精度光刻机,用来生产制造IGBT芯片小菜一碟。
第一批圆晶也采购到位了。
圆晶,是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片,由于其形状为圆形,故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体,一般意义晶圆多指单晶硅圆片。
晶圆是最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格,近来发展出12英寸甚至在研发更大规格的。
九洲工业有限公司采购的是8英寸圆晶,进口的。没办法,这个时候的国内的圆晶质量还无法和进口相比,应该要再经过十几年的发展吧,国内的圆晶厂才能做出具有国际一流水平的圆晶。
光刻机单独一栋恒温无尘大厂房,这是九洲工业有限公司的宝贝,自然重点照顾。
马上要进行芯片的生产,唐飞到了生产现场。此外,还有不少的技术专家和技术人员。
如赵可,如孙旭和唐中华两位专家,好几名技术人员,在这里的工人也是经过精心挑选的,要求很高,一般的工人不能进入这栋厂房内,更不要说亲自操作这台光刻机。
在技术人员的指导下,“全副武装”的几名工人在进行圆晶切片的仔细清洗,这是第一步。
然后还要经过涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等多道工序。
圆晶切片就像一面薄薄的,非常光滑的镜子。光刻,就是将设计好的芯片电路结构光刻到圆晶切片上。
光刻好的圆晶切片,每一片能生产出数千计,甚至上万片的芯片,就像印刷一样,光刻好的圆晶切片就是印刷的模板,光刻就相当于排版。
工人们一丝不苟,非常谨慎的严格按照工艺要求操作着,清洗圆晶片,在圆晶片上涂光刻胶,对准曝光,烘干,显影等等……
当第一片光刻完的圆晶片被做出来之后,唐飞心中微微激动,心中想到,这应该是国内第一块吧。
孙旭和唐中华亲自认真的检查这块完成光刻的圆晶切片,两人用十分挑剔的眼光,找出了几处小缺陷。
于是,针对这些缺陷经过工艺参数上的完善,改进等,再接着又光刻第二片圆晶切片。
一连做了好几块之后,终于没有发现任何的缺陷,工艺也稳定了下来,操作光刻机的那几名工人也技术娴熟多了。
“老板,您来看一看,这片圆晶堪称完美,几乎没有任何的瑕疵。”唐中华对旁边的唐飞道。