曹嘉许沉思着点头，他同样没有怀疑辛启天提供的信息真实度，“如果这样的话，看来我们确实时间很紧。老大，有没有可能，直接跨过EUV技术，提供四代五代机器？”
辛启天轻轻摇头，“跨过EUV技术，不大可能。毕竟EUV阶段，才刚刚起始。没有走到一定阶段，下一阶段，到底开展什么方向研究，我也说不准。”
“因为，我们不可能完全放弃现有半导体产业，独立去搞其他研究。”
“那样的话，需要成百上千的工艺去完善整个供应链才行。否则，即便东西在先进，没有配套的产业链，产业环境。”
“市场很难认可。”
“我们市场应用率比较低，变革幅度大一些没问题。换成欧美那些国家，让他们换一条路走，需要消耗无数庞大的资源。得不偿失。”
“不过，我觉得可以在光源上，琢磨琢磨。”
“现在EUV采取的光源研究方向，是大功率CO2激光器。由于二氧化碳辐射到EUV的转换效率为百分之几，二氧化碳源必须提供20kW以上的功率的能源。”
“辐射以50kHz的脉冲碰撞~30μm的锡滴。”
“所以导致，EUV不稳定，碎片衰减严重。A**L他们现在关键攻关的难题，就是大功率CO2激光器系统。”
“我们要做的话，我建议走两个方向，一个简单，一个更难。”
“气体激光器技术已经很成熟了。我有信心，如果我们来搞CO2激光器，或者我更倾向的CO激光器，当然后者对于成本、制造生产运行工艺要求很高。”
“如果我们来做，应该会很快搞定。”
“问题是，东西做出来。与A**L合作是可以的，但对方不会给我们更大优惠。很难让我们入股，每年能购买的EUV机器，恐怕依然在两三台左右。就这，估计还会有许多其他要求。”
“风车国依靠光刻领域霸主，可是没少帮助国内许多地方。”
“另一个方向，我考虑做自由电子激光器。”
“这种激光器，前景非常好！”
“具有高功率、高效率、波长的大范围调谐，和超短脉冲的时间结构，等一系列优良特性。”
“自由电子激光器，产生激光的原理，与以往的激光器有本质上的不同。利用相对论电子束，通过周期磁场将电子束的动能转换为辐射能。”
“如果能做成，在凝聚态物理、材料特征、医学、激光武器等等方面，有很大市场！”
“当然，要解决的问题也很多。首先加速器得解决、其次，还要有用于吸收的光学系统。”
“特别是要应用于光刻技术中的话，需要计算恒定横向周期磁场中的场致受激辐射的效率，转换率，衰减等等。”
“研发成本会很高！”
“我们要投资的地方有很多，我目前，还不能保证，光刻方面投资比例。总得平衡一点，先搞成一个体系。单一有台强大的发动机，结果是老爷车，不配套。水桶最短板一下子过于短。”
饶小荆说道：“那先不着急呗老大，咱们把整个半导体产业链中，所有研究方向都定好了，然后看看哪里可以提前研究一下！”
“没错，确实不着急！”辛启天思考着说道，“设备这一块，我们首先定下的主要方向，在于光刻机。后面，在慢慢讨论，光刻机这个体系中，哪里进一步研究。”
“除生产制造设备，IC设计这块，在我初步研究中，大概率当前半导体工业生产，是可以完成AI芯片架构的。”
“本身，集成电路就是伪三维模式。新的AI化电路，尽管会更加复杂，但不会比单原子晶体管更难。和量算的复杂程度相比，还差不少。”
会议室中，众人继续热火朝天的讨论，议定方案。